Đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt chính xác cao KOFLOC Model 3100 Series (Mã cấu hình chi tiết: 3100-V/D0WL-H2-2/5SLM-20 degree C) được nghiên cứu, thiết kế và chế tạo 100% tại Nhật Bản bởi tập đoàn KOFLOC (Kojima Instruments Inc.) – thương hiệu công nghệ đo lường và kiểm soát lưu lượng hàng đầu châu Á với hơn 75 năm kinh nghiệm chuyên sâu. Được định vị là dòng đồng hồ đo lưu lượng khối cấp cao (High-grade Mass Flow Meter - MFM), Model 3100 giải quyết triệt để các sai số do biến động nhiệt độ và áp suất đường ống gây ra trên các dòng lưu lượng kế cơ học thông thường, đem lại kết quả đo lưu lượng khối tức thời với độ chuẩn xác, độ tin cậy và tính ổn định dài hạn vượt trội.

Điểm đắt giá nhất của KOFLOC Model 3100 nằm ở cảm biến dòng nhiệt dạng dây (Thermal wire sensor) ứng dụng công nghệ vi sai dòng điện bám nhiệt độc quyền của KOFLOC. Cảm biến đo trực tiếp khối lượng của các phân tử khí đi qua ống mao dẫn mà không cần bất kỳ bộ phận chuyển động cơ học nào (No moving parts), triệt tiêu hoàn toàn nguy cơ hao mòn hay kẹt rác. Đặc biệt, mã cấu hình này được hiệu chuẩn trực tiếp tại nhà máy sản xuất bằng chính khí Hydro thực tế (Actual H2 gas calibration) tại điều kiện tham chiếu chuẩn 20 °C và 1 atm. Do khí Hydro có tính dẫn nhiệt đặc thù cao gấp nhiều lần các khí trơ thông thường, việc hiệu chuẩn trực tiếp với khí Hydro giúp thiết bị đạt độ chính xác cực cao lên tới ±1.0% F.S. và độ lặp lại ±0.2% F.S. trên toàn dải lưu lượng định danh 2.5 SLM (Standard Liters per Minute).

Về mặt kết cấu và giao tiếp điện tử, thiết bị sở hữu thân vỏ và buồng dẫn khí bằng thép không gỉ SUS316 cao cấp chịu áp lực làm việc tối đa lên tới 1.0 MPa (10 bar), đệm kín cao su kỹ thuật FKM/Fluorocarbon resin chống rò rỉ khí phân tử nhỏ như Hydro. Ngõ ra tín hiệu analog tuyến tính 0 – 5 VDC (ký hiệu "V") kết hợp cổng kết nối D-sub 9-pin chuẩn hóa (KFC/SEMI standard) giúp thiết bị dễ dàng tích hợp vào các hệ thống điều khiển PLC, bộ hiển thị số CR-400B hoặc máy tính giám sát quy trình SCADA. KOFLOC 3100 là thiết bị đo kiểm không thể thiếu cho các trạm thử nghiệm pin nhiên liệu Hydrogen (Fuel Cell), buồng lắng đọng màng mỏng bán dẫn CVD/PECVD, hệ thống phân tích sắc ký khí và các phòng thí nghiệm nghiên cứu năng lượng sạch công nghệ cao.

• Hãng sản xuất: KOFLOC (Kojima Instruments Inc.)
• Xuất xứ: 100% Nhật Bản (Kyoto, Japan)
• Dòng sản phẩm: Đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt chính xác cao (High-Grade Thermal Mass Flow Meter)
• Model đầy đủ: 3100-V/D0WL-H2-2/5SLM-20 degree C
• Dòng series: Model 3100 Series
• Nguyên lý đo lường: Cảm biến dòng nhiệt vi sai dạng dây (Thermal Wire Sensor / Temperature tracking current difference detection)
• Môi chất khí hiệu chuẩn: Khí Hydro (H2 - Hydrogen gas, hiệu chuẩn trực tiếp bằng khí thực)
• Thang đo lưu lượng định danh (Flow Range): 2.5 SLM (Standard Liters per Minute) / tùy biến hiệu chuẩn 2 ~ 5 SLM
• Điều kiện nhiệt độ tham chiếu: 20 °C tại áp suất khí quyển 1 atm (101.325 kPa)
• Độ chính xác đo lường (Accuracy): ±1.0% F.S. (trên toàn thang đo)
• Độ lặp lại (Repeatability): ±0.2% F.S.
• Thời gian đáp ứng (Response Time): Cực nhanh, ≤ 1 giây (đạt 98% giá trị đo)
• Tín hiệu ngõ ra Analog (Output Signal "V"): Điện áp tuyến tính 0 đến 5 VDC (trở kháng tải tối thiểu 2 kΩ)
• Áp suất vận hành tối đa (Max Inlet Pressure): 500 kPa (G) (~0.5 MPa)
• Áp suất thử nghiệm chịu đựng (Pressure Resistance): 1.0 MPa (G) (~10 bar)
• Cổng kết nối điện tử: Cổng D-sub 9-pin chuẩn KFC (tương thích hoàn toàn chuẩn bán dẫn SEMI)
• Đầu nối cơ khí đường ống ("WL"): Đầu nối ống dạng kép Double-Ferrule Lok Fitting (hoặc tùy chọn Rc 1/4) chống rò rỉ khí vi mô
• Vật liệu tiếp xúc lưu chất (Wetted Parts):
  - Thân cảm biến & đường dẫn: Thép không gỉ SUS316 / SUS316L
  - Vòng đệm làm kín: Cao su tổng hợp Fluorocarbon FKM (Viton) / PTFE
• Dải nhiệt độ môi trường & khí hoạt động: 0 đến 50 °C
• Nguồn điện vận hành yêu cầu: ±15 VDC (±5%), dòng tiêu thụ khoảng 100 mA
• Khối lượng thiết bị: Xấp xỉ 800 g – 1.0 kg (kết cấu kim loại nguyên khối chống nhiễu điện từ EMI)
• Tiêu chuẩn chất lượng: Tuân thủ chứng nhận RoHS, kiểm chuẩn nghiêm ngặt trước khi xuất xưởng
• Ngành nghề và hệ thống áp dụng: Trạm thử nghiệm và đánh giá pin nhiên liệu Hydrogen (Fuel Cells), dây chuyền chế tạo linh kiện bán dẫn và tấm pin năng lượng mặt trời (Solar PV), thiết bị lắng đọng màng mỏng hóa học (CVD / ALD), hệ thống phân tích sắc ký khí (Gas Chromatography), lò nhiệt luyện khí bảo vệ Hydro, phòng thí nghiệm nghiên cứu vật liệu mới và các trạm pha trộn khí công nghiệp kỹ thuật cao.